铁电－硅集成微麦克风和扬声器研究
基本信息
批准号：69806007
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：13.00
负责人：任天令
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：马腾阁,谭智敏,杨景铭,马玉涛,朱小山
关键词：
麦克风扬声器铁电体
结项摘要
本研究探索将铁电薄膜技术与硅微机械加工技术相结合，制备以压电性能优异的PZT铁电膜诵牡男凼降陀αΩ春险衲ぃ⒀兄聘吡槊舳鹊募罂朔绾脱锷鞴δ苡谝惶宓奈⑿突善骷Ｋ谛畔ⅰ⒕隆⒐ひ档攘煊蛴泄惴河τ们熬埃缈捎糜诙嗝教逵镆羰淙胧涑黾耙贫ㄑ兜确矫妗１狙芯慷愿咝阅艿统杀臼涤没⒙罂朔绾脱锷鞯氖迪钟兄匾壑怠
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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