用于SOC的新一代嵌入式铁电存储器材料、器件与兼容工艺
基本信息
批准号：90407023
项目类别：重大研究计划
资助金额：220.00
负责人：任天令
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：2004
结题年份：2008
起止时间：2005-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：于军,康晋锋,刘理天,王耘波,陈中建,张志刚,卢德新,谢丹,高俊雄
关键词：
兼容工艺SOC铁电存储器铁电薄膜嵌入式
结项摘要
本项目将研究适于SOC的新一代嵌入式铁电存储器材料、器件与兼容工艺。主要研究内容包括：.（1）适于SOC嵌入式应用的铁电存储器介质、电极材料与工艺研究；.（2）铁电存储器与CMOS的工艺兼容性研究；.（3）存储单元结构研究与建模；.（4）铁电存储阵列及外围电路的设计、验证与优化；.（5）含嵌入式铁电存储器的SOC集成与实现技术。.本项目将解决用于SOC的嵌入式铁电存储器实现的关键基础性科学问题，将为这类具有重要应用价值的新型高性能存储器及其嵌入式集成化芯片的实用化奠定坚实的基础。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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