大量程纳米级光栅式位移测量新方法的研究

研究大量程、纳米级分辨率、高性价比的光栅式位移测量新方法。其中包括等腰闪烁光栅的设计、特性仿真和制作方法，及其在非对称双级闪耀光栅测量中的应用；利用单个大长度低线数计量光栅实现大量程高分辨率位移测量的理论、实现方法，以及影响测量精度和分辨率的因素及其修正技术等。其研究成果将填补我国大量程高分辨率低价位光栅测量技术的空白。