一种光蚀刻微细加工新材料及新技术研究

光刻蚀纤维素软片（PCF）是本课题组发明的一种可用激光刻蚀成微浮雕图象的光刻新材料。它是以三醋酸纤维素为片基，经预处理及敏化而成。同时优选了它的光敏配方及处理条件，深入研究了它的光刻机制，成图机理等，使之发展成为一种激光微刻蚀新材料。PCF具有一系列优良特性：分辨率第毫米达3000线，有很好的线性浮雕调制能力，实时衍射效率大于30%，高的光能利用率，优良的环境稳定性，极佳的机械强度，可直接用作热压塑母板。它还具有重量轻，柔韧性好，制作工艺简单，价格低廉等优点。适宜用于全息图及各种微光学元件的制作，已研制出多种微光学元件，获用户好评，有明显的社会效益及广阔的应用前景。经四川省科委组织鉴定，成果达国际先进水平。