光刻全息图的调制度及衍射效率的研究
基本信息
批准号：69077018
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：郭履容
学科分类：
依托单位：四川大学
批准年份：1990
结题年份：1992
起止时间：1991-01-01 - 1992-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：程晓雪,郭永康,朱自强,王廷键
关键词：
全息术光刻术衍射效率
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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