电泳技术制备曲面位移压电微驱动器及其动态位移特性研究

采用在三方-四方结构相界附近、压电系数高的铌锌酸铅-镐钛酸铅（PZN-PZT）弛豫铁电体的化学组成配方，利用溶胶－凝胶法和电泳厚膜沉积技术，制备出晶粒尺寸均一的PZN-PZT多组分络合物胶粒，在电场作用下，通过改变络合剂、调节泳液PH值、电泳电压和时间等条件和技术参数，将该络合物胶粒均匀沉积在曲面陶瓷基片的金属电极上，然后进行合理的退火温度处理，制备出无开裂、厚膜均匀、致密、位移面呈曲面的压电微驱动器，满足新一代微机械系统及其在光学的应用。研究络合剂对多种离子的络合机理；络合剂胶粒电泳过程中的特殊动力学过程以及沉积物与金属电极之间的界面问题；曲面陶瓷衬底上PZN-PZT压电铁电特性，以及曲面压电微驱动器的电压-位移的动态位移特性，为新型压电陶瓷微驱动器的应用提供理论和应用基础。