金刚石针尖和表面修饰及纳米加工的研究

本课题采用微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD），首次成功地在钨针尖表面生长金刚石多晶，从而制备出了金刚石针尖。这种金刚石针尖是非常坚硬和稳定的，在表面修饰和纳米机械加工过程中可以同时作为图象扫描和纳米机械加工工具。采用这种金刚石针尖分别在金属薄膜（Au、Ag、Pt）和金属块体表面（单晶Ni、Pd及多晶Pt）进行表面修饰及可控纳米机械加工，首次在金属表面得到了纳米尺度下纳米级的光滑均匀的平整表面。纳米级光滑均匀的平整表面的获得是纳米加工中的一个最基本、最简单的问题，它是复杂纳米加工的基础单元。这种表面修饰和纳米机械加工具有连续性、重复性、可控性等特点。