ULSI硅片缺陷控制与利用机理和过渡过程
基本信息
批准号：68876105
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：徐岳生
学科分类：
依托单位：河北工业大学
批准年份：1988
结题年份：1990
起止时间：1989-01-01 - 1990-07-01
项目状态： 已结题
项目参与者：张维连,任丙彦,鞠玉林,崔德升,林秀俊,陈克之,陈丙贤,高秀清,高集金
关键词：
引入缺陷以控制缺陷利用缺陷氧的可控沉淀
结项摘要
项目摘要
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数据更新时间：2023-05-31
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