激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制

当今高新技术的发展实践表明大范围高精度的纳米位移测量技术及仪器是微电子技术、超精密加工技术等领域中亟待解决的一项关键共性技术，属精密测量科学的重点研究内容。本项目前期研究提出的合成波长干涉条纹细分原理已解决了干涉条纹极大细分的技术问题，有利于实现高精度纳米位移测量，本次申请项目拟重点解决利用激光合成波长纳米位移测量方法实现大量程纳米位移测量及其仪器化的相关技术问题。主要研究内容包括：进一步提高测量精度的相关理论研究，大范围测量时抗干扰方法研究，大小数干涉条纹相结合的可靠性研究，测量装置的仪器化设计和仪器测量不确定度分析与评定等，并与国内国际同类先进仪器进行比对实验和应用测试实验。研制2台激光合成波长纳米位移测量干涉仪，技术指标为：测量范围：100mm、测量精度：< 10nm、测量分辨率：0.1nm，为我国集成电路芯片制造、超精密加工和精密测试计量等技术领域提供高性能的纳米位移测量仪器。