基于合成波长条纹细分原理的纳米测量方法研究

本项目提出利用合成波长对光学干涉条纹进行细分以实现大范围高精度纳米测量的新方法，构筑了在同一干涉仪中能同时实现大范围测理和超高精度测理的新型纳米测量系统，旨在为现代设计与制造所涉及的微机电技术提供新的纳米级甚至皮米级的大范围纳米测量手段。并构筑系统实验平台验证理论成果。