金属薄膜材料的织构及相关性能的研究

针对金属薄膜，考虑表面能、界面能、晶界能和应变能建立晶粒生长理论模型并用计算机模拟；用透射电镜和X射线衍射 分别测量沉积和退火膜晶粒尺寸和织构；研究金属薄膜的宏、微观织构的形成及退火晶粒生长和织构变化的机理和规律；探索通过织构设计提高薄膜材料性能和途径；解决织构相关性能的定量预报及控制；用以指导金属薄膜的设计与应用。