违阿贝结构的误差准实时修正方法和器件研究

结构误差可以归纳为位移、转角、滚转、直线度、垂直等五类共21项。实时测量全部误差受到技术和成本的限制。本课题用二元光学方法和传统分光方法建 成四光束系统，同时测出位移、俯仰角、偏摆角、滚转角、原误差37微米，修正后残差1.5微米。测角分辨率0.1秒达到预定指标。用半波片作滚转角传感元件和采用反馈控制方法使灵敏度和稳定性达到要求。采用可编程门阵列实现计数电路集成，三轴测量处理只需同一块插卡，只占用一个插槽。实施了59075199超低速自然基金项目专利用于直线度测量。比对证明稳定性优于国外产品。已被国防计量所采用。发表文章20篇。SCI1篇，EI8篇，文库1篇ISTP1篇。培养博士生2名，专利授权1项。