ECR-PLA等离子体的时空运动、激发增强和气相反应

基本信息
批准号:10875029
项目类别:面上项目
资助金额:35.00
负责人:吴嘉达
学科分类:
依托单位:复旦大学
批准年份:2008
结题年份:2011
起止时间:2009-01-01 - 2011-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:戴祝萍,莫应安,张尉,沈轶群,冯慧,高昆
关键词:
气相反应电子回旋共振微波放电激发增强脉冲激光烧蚀ECRPLA等离子体
结项摘要

低温等离子体在材料领域的应用日益广泛,应用技术的发展又促进了等离子体基本过程与特性的研究。由ECR微波放电和脉冲激光烧蚀联合作用引发的ECR-PLA等离子体具有独特的性质,还会引发新的物理和化学过程,在材料制备和处理上具有独到的应用效果。ECR-PLA等离子体基本过程与特性的研究则是其应用探索的基础。.本项目将着眼于瞬变PLA等离子体在稳定、均匀的ECR等离子体中高速膨胀时由于两者之间的相互作用引起的ECR-PLA等离子体独特现象和基本过程,包括ECR-PLA等离子体的时空运动、PLA等离子体与ECR等离子体间的彼此激发和ECR-PLA等离子体的激发增强、ECR-PLA等离子体中高活性物质间的气相反应及其产物等,主要通过等离子体诊断测量方法对上述现象和过程的实验观察,结合相应的数值模拟,探讨导致ECR-PLA等离子体高活性和气相反应的机制,并为ECR-PLA等离子体的技术应用提供参考。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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