（类）金刚石薄膜特征表面制造与机理研究

（类）金刚石有多方面优异的物理和化学性能，在一些方面也得到初步的应用，但是它们本身的优异性能还远远没有发挥出来，依赖于（类）金刚石膜更深层次包括表面特性的研究，尤其是纳米尺度上薄膜表面的制造和物理研究。从表面科学的研究来看，薄膜形成中的动力学演变牵涉到复杂的物理过程，最终的表面相貌是表面粗造和平滑过程相互作用的结果。对薄膜表面形成机理的理解是实现在纳米尺度上对表面形貌控制的基础。因此，纳米尺度上（类）金刚石表面的研究无论是从拓展它们的应用领域、发掘新的生长点，还是从表面科学发展的角度来说都是十分有意义的。本研究拟通过在低气压（类）金刚石合成非平衡过程中通过工艺的合理设计，驱动不同程度粗造和平滑过程，在电场、温度场和应力场中自组化形成（类）金刚石的特征表面。利用等离子体与薄膜表面的相互作用，诱发特征的（类）金刚石表面自组形成。研究（类）金刚石表面的动力学演变，探讨特征表面形成的物理机制。