巨微电子技术中超大晶粒薄膜多晶硅的研究
基本信息
批准号：59572034
项目类别：面上项目
资助金额：9.00
负责人：孙钟林
学科分类：
依托单位：南开大学
批准年份：1995
结题年份：1998
起止时间：1996-01-01 - 1998-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：于振瑞,孟志国,吴春亚,赵颖,S·CHEN,Y·SUN
关键词：
激光混合晶化固化速度超大晶粒多晶硅
结项摘要
本基金项目主要研究以短波长高能量密度的准分子激光为熔化激光束，以尾随次短波长的YAG退火激光束实现的双激光束光晶化，达到降低固化速率，以求获得了大尺寸多晶硅准二维晶粒。本研究完成了一个非封闭的热力学系统，在有连续能量补充的条件下温度剖面分布与时间的关系，并给出理论计算结果。在实验上实现了A-Si/a-SiN/Glass结构上的激光晶化，并在该激光晶化的薄膜的多晶硅上制作出Ion/Ioff比达4个数量级的多晶硅薄膜晶体管，其性能预示完全适合于薄膜巨微电子器件要求。Polly-SiGe合金也以激光晶化方法获得。另外研究并给出Poly-Si TFT的理论模型。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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