复合热释电膜红外探测器的研究
基本信息
批准号：69777018
项目类别：面上项目
资助金额：12.00
负责人：任巍
学科分类：
依托单位：西安交通大学
批准年份：1997
结题年份：2000
起止时间：1998-01-01 - 2000-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：吴小清,刘芸,宋志棠,毛引华,凌云,耿春琦
关键词：
红外探测器多孔绝热薄膜复合热释电薄膜
结项摘要
建立了复合热释电薄膜热传导模型，分析了各功能膜层对响应特性的影响。采用MOD法制备了性能优良、工艺再现性好的Pb基热释电薄膜。采用溶胶-凝胶法制备了满足使用要求的SiO2绝热膜。采用光刻-腐蚀工艺实现了热释电薄膜的图形制备，采用光刻-剥离工艺成功地解决了Pt、Au难于刻蚀的问题。通过“红外吸收层/上电极/热释电膜/下电极/过渡膜/多孔膜/硅基底”的集成，制备出不同单元面积的2×8、2×16、2×32和2×64元等一系列复合热释电薄膜红外探测器线阵。研究了SiO2绝热膜、图形化工艺以及极化条件对敏感元性能的影响。对探测器的阻抗变换以及前置放大电路进行了设计，利用外贴阻抗变换电路技术制备了单元探测器。探测器的星探测率达9.3×10（7）cmHz（1/2）/W，这一指标接近了1×10（8）cmHz（1/2）/W的实用水平，进入国际先进行列。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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