宽温区高灵敏度复合热释电膜红外探测器阵列研究

从提高非致冷红外探测器阵列的宽温区灵敏度入手，研究PMNSZT/PVDF 0-3型复合膜非致冷红外探测器阵列材料组成、结构设计和工艺制备技术。利用无机材料的相变展宽效应及复合材料的多元多相展宽效应，设计了新型宽响应温区复合热释电材料，采用流延、热压及电场诱导同步极化技术，得到综合性能优良的0－3型复合热释电材料，同时研究了复合热释电膜的温区展宽效应的机理；另外采用刻蚀微沟道－蒸Pt电极－填充有机物－制膜－腐蚀填充物的新型工艺得到热绝缘性及导电性能良好的Si3N4绝热芯/Pt导电壳新型微桥结构。用研制的16×16元阵列PMNSZT/PVDF复合材料非致冷红外探测器阵列设计温度分布式人体识别系统。项目的研究对促进我国非致冷红外探测器研究、开发、应用水平的提高具有重要的理论及实际意义。