离子束溅射动态过程的同轴背反射扫描电镜原位研究
基本信息
批准号：10045001
项目类别：专项基金项目
资助金额：6.50
负责人：蒋昌忠
学科分类：
依托单位：武汉大学
批准年份：2000
结题年份：2000
起止时间：2000-01-01 - 2000-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：石瑛,刘昌,孟宪权,刘传胜,叶明生,付强,曹扬,李承斌
关键词：
扫描电镜原位观测溅射机理
结项摘要
利用高能同轴背反射电子探测原理，改造S－550扫描电镜，同时在样品室侧面附加溅射离子源。改造后的电镜既能获得二次电子象，也能获得高能同轴背反射电子象。利用这二种信号原位研究溅射率随入射能量、束流强度，入射角以及样品不同晶向、不同靶物质的变化规律，观察样品表面元素分布的演变过程。为用加速器和电镜联机开展相应研究奠定基础。.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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