BST薄膜电调体声波谐振器件研究

BZN介质薄膜在外加电场作用下具有介电可调特性，而且在较高的频率下具有较低的介电损耗，不仅适用移相器、匹配网络等传输型器件，而且是研制压控振荡器、滤波器等谐振型微波器件的优异微波介质可调材料。本研究拟采用磁控溅射方法制备BZN薄膜，优化微波介电性能，研制介电损耗低、电场调谐率高的BZN薄膜；研制加工MIM(金属-介质-金属)平板结构的BZN薄膜变容管，建立模拟实际工作条件的微波测试环境，研究其特性参数和微波损耗行为；设计、仿真和实现基于BZN薄膜变容管的压控振荡器原型器件。本项目的实施，有望开发出一类适合微波应用的具有较高Q值的介质变容管，为电场调制微波器件的研制提供一种高性能、低成本、小尺寸的新型元器件，解决薄膜介质微波器件阻抗匹配、电路结构、微细加工、组装工艺等关键问题，为该类薄膜介质微波器件的研制开发奠定基础。