面向平板显示制造业的空间交叉式非接触磁性齿轮传动研究
基本信息
批准号：50705053
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：20.00
负责人：孙涛
学科分类：
依托单位：上海大学
批准年份：2007
结题年份：2010
起止时间：2008-01-01 - 2010-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：张震,陆舰,陈慧宝,李卓堂,邵文韫,杨怡蓓,王萌,魏衍侠
关键词：
传动非接触磁性齿轮交叉平板显示
结项摘要
在液晶屏和等离子显示器等半导体光电器件制造过程中，制造设备与环境的无尘等级，直接影响了TFT、LCD等产品的品质及合格率。常规输送机构大多采用带或传统的齿轮传动来传递运动与动力，不可避免会产生磨擦与磨损，势必造成尘埃率的提高，直接导致次品率的上升。目前国外虽已开始出现可应于无尘环境的磁性齿轮传动，但绝大多数是同轴式或平行轴传动，而且缺乏深入与系统的基础研究。本课题基于研发平板显示器件制造中无尘化传送装备的战略需求，系统研究空间交叉式非接触磁性齿轮传动的理论基础及关键技术，获取空间交叉式非接触磁性齿轮传动设计的内在规律，并研究其本构模型、参数变化及运动学、动力学性能等问题。进而以平板显示器生产传送装置为具体应用背景，探索空间交驻型磁性齿轮制备材料、充磁工艺、充磁装备等问题，提出空间交叉式非接触磁性齿轮传动的指导性设计理论。并研制试验性磁性齿轮传动装置，为平板显示器件生产线传送装置提供核心技术
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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