大气压含电负性气体的混合气体中均匀放电新方法研究

采用低温共烧陶瓷技术制作埋置电极并对放电阻挡介质表面进行改性，应用电学、光谱和快速数字影像技术研究大气压下含电负性气体的混合气体中放电均匀性与气体配比、电压时间变化率、介质表面状态三者协同作用间的关联；研究不同介质状态对上述关联特性的影响；研究放电过程中活性物种包括准分子的相对密度变化。进行本项目研究主要是为制作大面积材料表面处理或沉积用等离子体源以及大面积准分子非相干紫外辐射源提供基础。