大气压下氩气/电负性气体二元系均匀冷等离子体技术的基础性研究

获得大体积稳定的均匀冷等离子体是目前大气压下等离子体技术发展的方向，也是要解决的难点。采用经济性的载气来降低运行费用是拓展其工业实用化的技术关键之一。本课题提出了一种新方法，采用级联预电离，无介质阻挡的射频电容耦合放电方式，以及双电极冷却抑制微鞘层热不稳定性等技术手段，以经济性的氩气为载气，在大气压下获得大体积均匀的冷等离子体。并针对加入电负性的活性气体（氧气）对其稳定性的影响和所产生的自由基物种密度和演化的物理化学过程，通过进一步改进我们已提出的计算方法，要给与较为充分的分析描述。期待在改进等离子体源，加大其物理化学工作窗口，以及控制其稳定性等问题提出具有实质性和指导意义的结果。对在下一步工作中能够直接应用于工业生产过程中，例如在钢铁厂中对钢板表面油污的清洁，在微电子工业中常压下实现硅片表面处理中的灰化和氧化工序，以及改善集成电子线路板的焊点熔接性等问题，作基础性的研究工作。