铬基催化剂上二氯二氟甲烷气相氟化合成四氟甲烷研究

四氟甲烷(CF4)是用途非常广泛的等离子刻蚀气体。目前主要通过氟气（F2）与甲烷或碳直接氟化合成。通过氟氯交换催化反应，不但可以使四氯化碳（CCl4）、二氯二氟甲烷（CCl2F2）等臭氧消耗物质被重新利用，生产高附加值的CF4，而且通过催化过程具有操作简单安全等优点。本项目重点为开发CCl2F2经HF气相氟化制CF4的Cr催化剂。通过调变催化剂的制备条件，控制催化剂的活性相的结构和表面酸性，以提高催化剂的活性和稳定性。并采用原位Raman技术，研究反应状态下催化剂表面Cr物种、表面积碳与催化剂组成和制备条件的关系，从而有助于深入了解催化剂活性位及其失活机制。由于CF4合成反应是氟氯交换反应的代表性反应，因此通过本项目的研究对其它氟氯交换反应具有指导意义。