物理和化学作用对离子束增强沉积制备VO2薄膜的相关性
基本信息
批准号：10175027
项目类别：面上项目
资助金额：20.00
负责人：李金华
学科分类：
依托单位：常州大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：袁宁一,李坤,蒋美萍
关键词：
离子束增强沉积二氧化钒薄膜红外敏感膜
结项摘要
改变常规离子束增强沉积的物理过程，用Ar+、H＋混合束注入溅射沉积的V2O5膜。Ar+轰击使部分V－O键断裂，游离氧与注入氧结合，使V降价，形成在军事和民用方面有迫切应邀需要的VO2薄膜。研究如何控制该过程中的物理和化学作用的相关性，以制备优质VO2薄膜，并用它试制悬空结构的16x16非制冷焦平面阵列样品。目前，尚未见有类似工作的报道。.
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测
基于LS-SVM香梨可溶性糖的近红外光谱快速检测
DOI：
发表时间：
2
猪链球菌生物被膜形成的耐药机制
猪链球菌生物被膜形成的耐药机制
DOI：10.13343/j.cnki.wsxb.20200479
发表时间：2021
3
脉冲直流溅射Zr薄膜的微结构和应力研究
脉冲直流溅射Zr薄膜的微结构和应力研究
DOI：10.3788/AOS202141.1831001
发表时间：2021
4
近红外光响应液晶弹性体
近红外光响应液晶弹性体
DOI：10.7536/pc200335
发表时间：2020
5
覆膜开孔条件下新疆地区潜水蒸发及水热关系研究
覆膜开孔条件下新疆地区潜水蒸发及水热关系研究
DOI：
发表时间：2013
李金华的其他基金
批准号：41004024
批准年份：2010
资助金额：21.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：31301779
批准年份：2013
资助金额：23.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：70941017
批准年份：2009
资助金额：9.70
项目类别：专项基金项目
批准号：31872123
批准年份：2018
资助金额：60.00
项目类别：面上项目
批准号：60277019
批准年份：2002
资助金额：25.00
项目类别：面上项目
批准号：61006065
批准年份：2010
资助金额：21.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：41374004
批准年份：2013
资助金额：100.00
项目类别：面上项目
批准号：39700020
批准年份：1997
资助金额：13.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：10647105
批准年份：2006
资助金额：2.00
项目类别：专项基金项目
批准号：10675055
批准年份：2006
资助金额：30.00
项目类别：面上项目
批准号：51203045
批准年份：2012
资助金额：25.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：11574075
批准年份：2015
资助金额：73.00
项目类别：面上项目
批准号：51502233
批准年份：2015
资助金额：21.00
项目类别：青年科学基金项目
批准号：71273276
批准年份：2012
资助金额：58.00
项目类别：面上项目
批准号：71673296
批准年份：2016
资助金额：50.00
项目类别：面上项目
相似国自然基金
1
离子束增强沉积制备过渡族金属硼化物薄膜的研究
批准号：59272086
批准年份：1992
负责人：尤大纬
学科分类：E0207
资助金额：6.00
项目类别：面上项目
2
金属离子束增强沉积多元薄膜机理研究
批准号：59371050
批准年份：1993
负责人：李国卿
学科分类：E0103
资助金额：6.00
项目类别：面上项目
3
离子束冶金学研究一离子束增强沉积碳化物和碳薄膜研究
批准号：59081410
批准年份：1990
负责人：李恒德
学科分类：E0103
资助金额：9.00
项目类别：专项基金项目
4
钽酸锂薄膜离子束增强沉积制备及其红外热波成像应用研究
批准号：60979004
批准年份：2009
负责人：张德银
学科分类：F01
资助金额：21.00
项目类别：联合基金项目