基于半导体纳米带的纳机电惯性传感技术研究

本项目将一种纳米功能结构-半导体氧化物纳米带与微机电结构结合构成微/纳组合传感结构，研究利用纳米带良好的机械特性及力电特性进行惯性量的动态检测，探索出提高现有微机电惯性传感性能的新方法。主要针对加速度测量，设计传感结构，并研究微/纳组装、电驱动、电检测及控制等相关理论和技术问题。主要研究内容有：纳米带结构的压电特性、力频特性，纳机电惯性传感结构实现技术，惯性量的电检测技术和控制技术，基于纳米带结构的惯性传感谐振检测技术。.微型、高性能的惯性传感器在航空、航天、车辆、船舶、机器人等行业有广泛的应用需求，特别是国防建设更迫切地需要高性能的惯性传感器以提高现役武器装备的水平，因而本项目的研究具有极大的应用价值和广泛的社会意义。