在电子回旋共振等离子体中等离子体鞘的研究
基本信息
结项摘要
研制了一台可用于大面积应用的电子回旋共振等离子体设备。研制了一套低温等离子体诊断系统。成功地研制了等离子体鞘势探测器。应用这些设备研究了ECR等离子体参数与系统参数的关系。测量了在ECR等离子体中鞘势φw随等离子体参数和系统参数的变化。研究鞘势与气体（Mi），与材料（电导率ρ）的关系。给出了eφkTe与Ti/Te，Mi，ρ的曲线。实验结果与理论进行了比较。结果并不一致。这与理论上没考虑磁场的影响，源函数理想化（均匀分布）有关。用Monta Carlo数值模拟计算了ECR特征与鞘势。粒子流强度等。与实验结果并不一致，有待改进模型。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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