移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
基本信息
批准号：10377009
项目类别：联合基金项目
资助金额：22.00
负责人：丁桂甫
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：2003
结题年份：2006
起止时间：2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：戴旭涵,曹莹,沈民谊,马俊,张永华
关键词：
双稳态非硅微加工RF移相器电磁驱动MEMS开关
结项摘要
微波移相器广泛应用于相控阵雷达和卫星通讯领域，基于微机电系统技术的MEMS移相器，具有损耗低、功耗小等突出特点，能够显著降低相控阵T/R单元的功耗，简化设计。MEMS移相器的优点源于MEMS开关的优越性能，与传统的半导体开关相比，它的结构形式和工作原理决定了其拥有良好的高频特性，但是，驱动电压、共振频率和机械结构的寿命成为实用化的关键。现有的静电驱动为主的MEMS开关尤其如此，高驱动电压和相对脆弱
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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