射频硅基开关线型MEMS移相器的研究
基本信息
批准号：60306012
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：7.00
负责人：石艳玲
学科分类：
依托单位：华东师范大学
批准年份：2003
结题年份：2004
起止时间：2004-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：赖宗声,范忠,李国栋,彭德艳,丁艳芳,卿健,李炜,李小进,刘赟
关键词：
MEMS移相器射频通信领域接触式开关传输线
结项摘要
移相器大量应用于相控阵系统中，是相控阵雷达、卫星通信及微波测量系统中的关键元件之一。本项目研究一种新型的结合MEMS技术制备的低损耗开关线型移相器，该器件通过在传输线上加载高性能接触式MEMS开关实现不同电长度传输通道的选择，从而得到不同的相移量。项目研究并实现硅基上的低损耗、低驱动、高相移精度的开关线型MEMS移相器，有结构简单、体积小、重量轻、成本低、易于与IC、MMIC集成等优点。该MEMS
项目摘要
项目成果
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暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
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