碳纳米管薄膜微机械红外探测器关键技术的研究
基本信息
批准号：60276037
项目类别：面上项目
资助金额：14.00
负责人：刘君华
学科分类：
依托单位：西安交通大学
批准年份：2002
结题年份：2004
起止时间：2003-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：申忠如,李昕,张洪瑞,张勇,梁晋涛,韩建强,汤晓君
关键词：
碳纳米管MEMS红外探测器
结项摘要
研究ＣＮＴ与ＭＥＭＳ相结合的高灵敏度新型红外探测器，该探测器信号拾取与混沌检测或相关锁相技术相结合的智能型红外探测系统，三层结构ＭＥＭＳ悬臂梁和微桥在热辐射激励下挠曲和谐振运动的规律及器件设计技术。该探测器及系统因使用ＣＮＴ红外吸热层、ＭＥＭＳ结构和新的信号处理技术，故灵敏度高、可在常温下使用，在军事、工业、环保等方面有广泛的应用前景.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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