离子注入非连续多层膜巨磁电阻效应的研究

将离子注入与磁控溅射镀技术相结合，首次制备了三种新型零磁致伸缩NiFeCo-Ag非连续纳米多层膜。NiFeCo-Ag比NiFe-Ag系在更宽成分范围内保持高的巨磁电阻效应。Co离子注入产生的巨磁电阻效应是Fe离子注入的效应2倍。离子注入使室温下溅射态薄膜的巨磁电阻从零增致5%，退火后达10%，这是迄今国际上用离子注入技术获得的最高巨磁电阻效应；使获得最大巨磁电阻的退火温度降低，在很宽退火温度范围内可获得尺寸较均匀超顺磁颗粒，抑制高温退火时第二相析出，这与注入组元及注入引起的晶体缺陷改变了磁性与非磁性颗粒相在退火中析出的动力学行为有关，这为通过控制退火温度调节磁性相/非磁性相界面微结构提供了新依据。本研究结果开辟了制备巨磁电阻薄膜的新途径。