二氧化硅驻极体的基本特性和机理

基本信息
批准号:19074041
项目类别:面上项目
资助金额:3.00
负责人:夏钟福
学科分类:
依托单位:同济大学
批准年份:1990
结题年份:1993
起止时间:1991-01-01 - 1993-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:孙熙民,陆廷济,丁亥,王艳,郭康瑾,徐少华,陈瑞璋,陈启屿,王毓德
关键词:
微型集成二氧化硅驻极体
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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