微机械加工静电式微电机的研究
基本信息
批准号：59075220
项目类别：面上项目
资助金额：4.50
负责人：吴冲若
学科分类：
依托单位：东南大学
批准年份：1990
结题年份：1993
起止时间：1991-01-01 - 1993-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：张根柱,陈章其,朱家训,邱洁真,倪明生
关键词：
微执行器静电马达微机械加工技术
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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