串联弯曲振动臂式微小压电电机研究

研究一种新型压电微电机。这种微电机基于一种新构思，即利用串联压电弯曲振动臂的末端形成的类椭圆运动，通过摩擦力驱动转子运动。其椭圆运动与以往压电微电机中椭圆运动相比，幅度有较大提高，可望大幅度地提高压电微电机的输出力矩，推动微电机实用化进程，对于微机械理论和技术的发燕尾服具有极为重要意义。