红外探测器阵列中组分梯度铁电薄膜的界面特性研究

应用改进的溶胶-凝胶工艺，结合表面微机械加工技术制备BST、PLT铁电薄膜热释电单元、8元线列和8×8元阵列红外探测器用组分梯度铁电薄膜异质结界面，系统研究研究梯度铁电薄膜的界面特性及其与制备技术、电输运特性以及热释电性能之间的相关性，分析界面的微观结构、应力等对梯度铁电薄膜电学性能的影响，从而揭示界面形成的物理机制，并研究相关调控方法，建立梯度铁电薄膜的初步理论体系，该问题的解决对于研究新型红外探测器阵列，开发新型铁电集成器件具有十分重要的科学意义。同时，研究和开发新型非致冷红外探测器系列产品，可广泛应于军事、航空、航天等尖端技术领域和非接触遥测温度、家电自动化控制及热成像等民用部门，具有广阔的市场前景。