读出式铁电薄膜红外探测器的研制
基本信息
批准号：69671008
项目类别：面上项目
资助金额：8.00
负责人：孙平
学科分类：
依托单位：东南大学
批准年份：1996
结题年份：1999
起止时间：1997-01-01 - 1999-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：吴冲若,林海安,孙彤,邵力为,张根柱,樊玉薇,王思兵
关键词：
铁电薄膜热探测器红外
结项摘要
研制了具有良好的介电常数负温度系数和铁电特性的Pb1-x Srx Ti O3系铁电陶；采用MOD工艺和磁控溅射工艺制备了Lal-x Srx Co O3和La Ni O3导电薄膜；薄膜晶化温度高于550℃方电阻<300Ω；制备了PLZT和PST铁电薄膜的介电温谱、铁电特性、开关特性以及开关特性与温度的关系。PST铁电薄膜的开关电荷随温度升高而减少，温度系数为95nC/cm(2)·K。制备出φ1mm的平析电容器型敏感单元利用铁电薄膜的电畴反转特性，采用对称补偿结构，研制以读出传感模式工作的铁电薄膜红外探测器。读出电荷对温差的响应初步达到3.2nC/cm(2)·K。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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