燃烧火焰法合成金刚石薄膜的研究

基本信息
批准号:58972107
项目类别:面上项目
资助金额:3.00
负责人:张亚非
学科分类:
依托单位:兰州大学
批准年份:1989
结题年份:1991
起止时间:1990-01-01 - 1991-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:苏玉成,宋志中,孙述华,杨映虎
关键词:
常压快速合成大面积化含碳的等离子火焰
结项摘要

用常压下燃烧火焰这一发展了的新方法合成金刚石薄膜;研究这种方法合成金刚石薄膜的机理,探索提高薄膜质量的途径,在弄清了合成机理后,用这种简便方法高速合成优质的金刚石薄膜,刚在技术上有可能实现低成本,大规模生产.

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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