精密螺旋曲面形状误差的激光干涉测量方法

精密螺旋曲面的形状误差，目前一般用接触式的测量方法测量。因受接触变形及测量环境等的影响，该测量法的测量精度一般不超过0.1μm，已经难以满足越来越高的测量精度要求。激光干涉测量法是非接触的测量方法，该方法的分辨率可达0.1nm级，测量精度可达10nm级，能够满足超精密测量的要求。本课题就采用激光干涉法测量精密螺旋曲面形状误差的方法进行探讨，主要内容有：螺旋曲面的干涉测量方法的研究，适用于螺旋曲面的复杂光学测量系统的误差解析模型的建立；适用于螺旋曲面干涉条纹图像的处理方法的研究；提出高度扭曲变形的螺旋曲面实测干涉条纹图像形状的精确还原匹配方法；研究适用于螺旋曲面干涉条纹图像的相位解包裹方法；提出干涉条纹图像的可处理性品质评价方法与多幅高度变形局域图像的精确拼接合成方法，实现螺旋曲面图像的自动剪切与自动拼接合成。