新的无杂质诱导InGaAsP-InP多量子阱混合互扩的研究
基本信息
批准号：60276013
项目类别：面上项目
资助金额：22.00
负责人：王永晨
学科分类：
依托单位：天津师范大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王永晨,赵杰,李彦,鲁光源,张晓丹,姜卫红,史衍丽,张亮
关键词：
量子阱混合等离子增强化学沉积光子集成
结项摘要
采用等离子体化学气相沉积PECVD新的含磷电介质膜SiO2P3Nz作为InGaAsP-InP多量子阱新的包封层，经RTA后研究获得量子阱最大带隙兰移条件及膜结构，研究等离子体自由基膜形成机理，膜组分与多量子阱相互作用关系。为制造具有新的电光—光电性能的激光器。调制器—光波导光子集成电路PICs打下基础。为超高速集成电路光互连提供低介电常数薄膜。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
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数据更新时间：2023-05-31
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