PCVD方法合成金刚石薄膜过程中的等离子体条件研究
基本信息
批准号：19175042
项目类别：面上项目
资助金额：3.00
负责人：詹如娟
学科分类：
依托单位：中国科学技术大学
批准年份：1991
结题年份：1994
起止时间：1992-01-01 - 1994-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：刘金英,丁卫星,汪学毅,江习承
关键词：
***
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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