在大气压、环境气氛为空气的条件下,用气相预混(氧气与乙炔气)富燃料不完全燃烧火焰制备金刚石薄膜。沉积基片为硅、钼等。其关键是确定氧气和乙炔气的混合比(R=O2/C2H2)。实验表明R有一最佳值为R=1.044。沉积基片表面温度也是重要参数,在从600℃到700℃的范围内,金刚石薄膜的质量纯净,其拉曼频移谱有1332(1/cm)尖锋。由于单支火焰的温度、燃烧产物的成分等分布都不均匀,致使沉积薄膜的质量不够均匀,薄膜面积也受到限制。新研制的往复运动火焰(已成功沉积了22×12mm(2)的薄膜)和多束火焰(已沉积了面积φ25mm的薄膜)。既增大了沉积薄膜的面积,又克服了薄膜的不均匀性,若将以上两种火焰结合使用,可重得到更大面积的均匀薄膜。
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数据更新时间:2023-05-31
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