流体二维振动物理-化学复合超光滑表面加工新技术研究

本项目提出了一种基于流体多维振动的物理-化学复合原子级表面加工（抛光）新方法。采用高频振动作为抛光作用力，以流体作为抛光工具，工件在流体中的缓慢复杂平面运动与流体的二维振动产生"冲击研磨"效应，利用流体分子（或悬浮在流体中的微细粒子）和工件原子（分子）间的物理-化学作用完成材料去除，因而有望使加工去除达到原子（分子）级。采用分子动力学仿真技术，建立流体二维振动加工的数学物理模型，对加工过程进行模拟。研究在振动流体的冲击、摩擦和化学作用下纳米表面的微磨损及微去除机理。本项目的研究有望对超光滑表面的加工产生重大突破，并开辟一种经济而高质量的超光滑表面的加工方法，具有重要的理论和现实意义。