利用外差干涉技术进行绝对距离测量研究

本课题是利用双纵模He-Ne激光器输出两纵模偏振正交的特点而实现的绝对距离干涉测量系统。它是用两个波长各自的外差干涉信号比相，直接测量出合成波的小数级次，提高了干涉仪测量精度；用双声光调制器实现外差干涉，消除其声光调制器的非理想状态对测量精度的影响；双波长波共光路，降低光路中的空气波动等干扰的影响；电子外差技术，消除了光电探测器非线性对测相精度的影响；数字相位测量技术，实现高精度。在研究中还发现，干涉仪中激光光束的角漂、波面质量、模耦合等因素对测量精度的影响。实验表明，在测量距离为25m时，测量精度达0.096mm。该研究成果不仅使绝对距离测量技术更具有实用性，而且对纳米测量也有一定的参考价值。