可调谐双频Nd:YAG激光拍波绝对距离干涉测量技术研究

拟用布儒斯特片（BP）与KTP晶体组成双折射滤光片实现Nd:YAG激光纵模选择，使1064nm基频光经BP起偏后的p分量和s分量分别在两个谐振腔（即p腔和s腔）内同时以单纵模振荡，经KTP倍频后产生的两单频绿光从s腔的输出耦合镜同轴输出，得到同偏振532nm双频绿光（即光拍波），输出功率大于20mW；改变p腔和s腔长度，使双频绿光频差在0.5GHz～25GHz范围内可调谐，拍波合成波长在600mm～12mm范围内可变；用Pound-Drever-Hall锁频技术锁定p腔和s腔长度以稳定双频绿光的频差，其稳定性优于400kHz；将双频绿光拍波分成测量光和参考光，比较两路拍波的相位可以确定拍波干涉条纹小数级次，而整数级次则通过对被测距离的粗测来确定，从而实现绝对距离测量。对不同的被测距离，可形成不同的合成波长链，采用逐级精化法实现高精度测量，不确定度优于15um/10m,测量范围为0～50m。