用热丝CVD技术生长了声学性能有所不同的金刚石膜,并加工成用于纵波声速和声表面波速度测量和器件制作的基片。建立可同时测量法向切向位移的F—P激光干涉仪并用激光超声检测了金刚石的纵波声速为1.5—1.8万m/s,在晶粒较大的生长面和晶粒较小的成核面声表面波速度分别是9490和9980m/s。与德国海德堡大学结果一致。理论上采用副立叶方法求解激光脉冲线激作用弹性介质中的波动方程,获得位移的积分表达式,采用两次FFT方法数值计算了位移波表,数值结果与对铝介质的实验结果有较好的一致性。在金刚石膜上进行了多种压电膜沉积实验。
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数据更新时间:2023-05-31
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