采用三倍频技术和高刻度介质干涉技术制成了4800线/毫米和6000线/毫米光栅;采用扫描电子显微镜,用电子刻蚀10000线光栅,并应用于电子装器件焊点热变形;用高频率显微镜拍摄试件的微米变形网格,建立微米几何云纹法获得微米量级的微米云纹条纹图;采用高分辨率电子显微镜拍摄带有变形等力学信息的材料原子格栅,获得反映材料位错、形变、断裂等细观力学行为的纳米云纹条纹图。条纹灵敏度达到0.2nm。所建立的微米云纹法和纳米云纹法将灵敏度提高到0.1μm和0.2nm的量级,其分辨率也达到微米和纳米量级。该技术成功应用于电子封装记忆合金、单晶硅纳米断裂等方面。表明对宏微观细胞力学、材料科学、微电子器件和微电力系统有重要价值。
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数据更新时间:2023-05-31
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