瞬变温度与压力复合型双信号薄膜传感器研究

本项目研究瞬变温度薄膜、压电薄膜及瞬变温度与压力复合双信传感器的制备理论和技术。解决了热电薄膜与金属基体间的绝缘技术，制成瞬变温度测试仪；探索氧化锌、氮化铝压电薄膜制备过程中晶粒择优取向控制技术和工艺参数优化问题，经过几十次的工艺参数组合和X射线衍射仪对试样的平面和空间扫描检测，获得了薄膜微晶C轴择优取向较好、压电常数较大的压电薄膜；用氧化铝靶溅射和纯铝靶反应溅射复合法基本上解决了温度与压力复合膜间的绝缘问题，制备了双信复合薄膜传感器。上术研究成果及其所取得的技术数据在机械、航空等工程中的瞬变温度压力测试及材料工程中特殊用途薄膜的制备方面都具有广阔的应用前景。因此具有重要的科学意义和工程价值。