硅基集成有机光波导微光机械振动传感器的研究

研究硅基集成有机光波导微光机械振动传感器，主要内容包括：器件微光机构结构设计，硅基集成有机光波导的研制，光波导器件和悬臂梁的刻蚀制备，有机材料性质与悬臂梁结构尺寸对器件灵敏度、频率响应范围等项指标的影响，器件尤其适用于航空、航天、航海等领域恶劣环境中的各种发电机、电动机及其所驱动的各种机械运动系统微振动状态的实时监测。