金刚石薄膜的重离子轰击再注入n型掺杂研究

基本信息
批准号:59582009
项目类别:专项基金项目
资助金额:11.00
负责人:朱沛然
学科分类:
依托单位:中国科学院物理研究所
批准年份:1995
结题年份:1998
起止时间:1996-01-01 - 1998-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:杨锋,江伟林,徐天冰,翟永亮,于洪伟
关键词:
金刚石薄膜重离子轰击n型掺杂
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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