金刚石薄膜的重离子轰击再注入n型掺杂研究
基本信息
批准号：59582009
项目类别：专项基金项目
资助金额：11.00
负责人：朱沛然
学科分类：
依托单位：中国科学院物理研究所
批准年份：1995
结题年份：1998
起止时间：1996-01-01 - 1998-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：杨锋,江伟林,徐天冰,翟永亮,于洪伟
关键词：
金刚石薄膜重离子轰击n型掺杂
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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