激光烧蚀成膜动力学过程的光谱/质谱研究

本项目用光谱/质谱方法重点研究了激光烧蚀氮气放电产生氮化物的动力学过程。自行设计了利用直流辉光放电来产生氮原子离子束的装置，产生的原子和分子离子之比可高达5：1，远远大于传统方法得到的原子分子比，利用该装置研究了氮原子束和材料表面的反应以及和激光烧蚀等离子体反应生成的碳氮复合团簇。这些结果被第三届亚洲国际原子分子物理会议（1996，10）接受为大会邀请报告。我们还发射光谱和时间分辨光谱方法研究了氮气脉冲放电等离子体的成分与放电条件的关系，研究了氮气放电等离子体与激光烧蚀金属等离子体的相互作用，为制备氮化物的最优条件提供了可靠的依据。