坩埚中熔硅流体力学参数对单晶质量的影响
基本信息
批准号：68876116
项目类别：面上项目
资助金额：3.00
负责人：秦福
学科分类：
依托单位：有研工程技术研究院有限公司
批准年份：1988
结题年份：1990
起止时间：1989-01-01 - 1990-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：万群,李英春,王建伟
关键词：
硅直拉法(CZOCHRALSKI)熔体
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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